- 省エネ
- 業(yè)種?工程別
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- 用途別
減圧弁（圧力調整器） 高純度プロセスガス用 AP/SL/AZ 一般ガス用/AK 排圧弁/BP
流體制御用機器 ? 2?3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブプロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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?半導體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ボディ材質はSUS316LダブルメルトもしくはSUS316Lを使用。
?接ガス部電解研磨処理。
?外部メタルシール構造。
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | 二段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| SL | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス | 一段式減圧弁 | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス | エアオペレート式減圧弁 | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | 一段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | 二段式減圧弁 | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレート式減圧弁 | SUS316 |
| BP | 高純度用 | 背圧弁 | SUS316 |
| BP | 一般ガス用 | 背圧弁 | SUS316 |
減圧弁（圧力調整器）／背圧弁 一般ガス用 AK/BP
プロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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?半導體から一般産業(yè)まで幅広い用途に使用可能なスタンダードモデル。
?流體に応じボディ材質はSUS316または黃銅の選択が可能。
| シリーズ | 形式 | 用途 | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| AK | 一段式 | ライン用 | SUS316 または黃銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黃銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 一段式 | 負圧調整 | SUS316 または黃銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4''，3/8'' 1/2'' |
| AK | 二段式 | 一次側高圧用 | SUS316 または黃銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
| BP | 背圧弁 | ― | SUS316 または黃銅 | NPTめねじ コンプレッション 継手 | 1/4'' |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AP
プロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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?半導體産業(yè)等、清浄度の高いガス供給用途に対応。
?ガスの遮斷弁として使用。
?接ガス部にスプリングがなく、駆動部もダイヤフラムにより隔離されているため、流路のデッドスペースが小さく、パーティクルの発生を抑制。
| シリーズ | 名稱 | 形式 | ボディ材質 |
|---|---|---|---|
| AP | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AP | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L ダブルメルト |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316L |
| AZ | 高純度プロセスガス用 | メータリングバルブ | SUS316L |
| AK | 一般ガス用 | エアオペレートダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | マニュアルタイプダイヤフラムバルブ | SUS316 |
| AK | 一般ガス用 | メータリングバルブ | SUS316 |
ダイヤフラムバルブ 高純度プロセスガス用 AZ
流體制御用機器 ? 2?3ポートソレノイドバルブプロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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?精密洗浄およびクリーンルーム組立
?全品ヘリウムリーク検査済
?SEMI規(guī)格準拠
?作業(yè)者に優(yōu)しい鍛造ボディ
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AZ | エアオペレートタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | マニュアルタイプ | SUS316L | フェースシール継手 チューブ溶接 | 1/4'' 3/8'' 1/2 |
チェック弁／バキュームジェネレータ／フロースイッチ AP/AZ 一般ガス用/AK
プロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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［チェック弁］
?背圧による流體の逆流を防止。
?內(nèi)部可動部品はOリングのみのシンプル構造。
?スプリングレス構造により振動、チャタリング等によるパーティクルの発生、下流側の圧力変動を抑制。
［バキュームジェネレータ］
?真空発生機器。
?ガスボンベ交換時、配管中に殘った不要なガスの排出用途に対応。
［フロースイッチ］
?配管の破斷等による過剰流量の検出。
| シリーズ | 名稱 | ボディ材質 |
|---|---|---|
| AP | チェック弁 | SUS316Lダブルメルト |
| AP | バキュームジェネレータ | SUS316Lダブルメルト |
| AP | フロースイッチ | SUS316Lダブルメルト |
ダイヤフラムバルブ 一般ガス用 AK
プロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
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?配管接続にRc, R, NPTをシリーズ化
?半導體から一般産業(yè)用途まで使用可能なスタンダードモデル
?精密洗浄を実施
?アクチュエータの高さを低くして、製品の小型、軽量化を実現(xiàn)（AK3542, 4542）
?操作ポートM5ねじ（AK3542, 4542）
?ハンドル構造の改良により、製品の小型、軽量化を実現(xiàn)（AK3652, 4652）
?ツマミ付丸ハンドルの採用により操作性、視認性がアップ（AK3652, 4652）
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AK | エアオペレートタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
| AK | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, R, NPT | 1/4''，3/8'' |
減圧弁／一般ガス用 AK1000T
モジュラF.R.L.／圧力制御機器 ? レギュレータプロセスガス用機器 ? プロセスガス用機器
ノングリース 窒素（N2）対応機器 ? プロセスガス用機器
圧力制御機器 ? レギュレータ
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?半導體から一般産業(yè)用途まで使用可能なスタンダードモデル
?製品の小型、軽量化を実現(xiàn)
質量：0.52kg、高さ：97.5mm
?內(nèi)部容積の小設計化でガス溜まりを低減
?配管バリエーション
コンプレッション継手、NPTめねじ、Rcねじから選択可
| シリーズ | タイプ | ボディ材質 | 配管接続 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| AK1000T | マニュアルタイプ | SUS316 | コンプレッション継手 Rc, NPT | 1/4''，3/8'' |
